BådeVakuumpump och kompressorär enheter för att bearbeta gas, men deras arbetsprinciper och tillämpningsområde är olika.
Vakuumpumpens huvudfunktion är att ta bort gasen från reaktionskammaren för att minska trycket i behållaren för att uppnå en förutbestämd vakuumgrad. Gasen extraheras från rymden genom sug- och avgasmekanismen för att bilda ett vakuumtillstånd. Vakuumpumpar används vanligtvis inom laboratorier, produktions- och tillverkningsfält. I Wafer Fabs, etsningsutrustning, deponeringsutrustning, EUV -litografiutrustning, jonimplantationsutrustning, detekterings- och karakteriseringsutrustning etc. måste alla dammsugas.
Kompressorns funktion är att andas in gas och komprimera den, öka gasens tryck, komprimera gasen till en mindre volym och öka gasens densitet och tryck. Dess arbetsprincip är att komprimera gasen genom avgasventilen och sedan lägga den komprimerade gasen i en bensintank eller annan utrustning. Kompressorer används vanligtvis vid bearbetnings- och tillverkningsfält. CDA -gasen vi ofta pratar om tillhandahålls av kompressorn. CDA används för att styra olika automatiseringsutrustning och ventiler. För halvledartillverkning måste CDA vara mycket ren och torr. Kompressorns luftutgång måste passera genom ett sofistikerat filtreringssystem för att avlägsna olja, fukt och andra partiklar för att säkerställa att det inte finns någon förorening av skivan.
Vad är kategorierna avVakuumpump och kompressor?
I halvledarutrustning används ofta torra pumpar och molekylpumpar. En torrpump hänvisar till en vakuumpump som inte använder någon vätska som ett tätnings- eller kylmedium, vilket undviker problemet med förorening av oljeånga. Det används vanligtvis för grov vakuumuttag av halvledarutrustning. Molekylpumpar kan uppnå extremt höga vakuumnivåer. Torra pumpar och molekylpumpar används ofta i kombination i halvledarutrustning för att tillgodose behoven i olika vakuumnivåer.
Kompressorer kan delas upp i kolv-, skruv-, centrifugal-, roterande skovelluftkompressorer etc.
På grund av de olika konstruktionerna och arbetsprinciperna för vakuumpump och kompressor kan vakuumpumpar vanligtvis inte ersätta kompressorer. Även om vakuumpumpar kan minska trycket och densiteten hos gaser, kan de inte komprimera gaser till mindre volymer och högre tryck. På grund av de begränsade prestanda och arbetsegenskaper för vakuumpumpar är de dessutom bäst lämpade för att hantera gaser med låg densitet och lågtrycksmiljöer.
Därför, om gas måste komprimeras till en mindre volym och högre tryck, bör en kompressor användas. Tvärtom, om gasen måste extraheras och ett vakuumtillstånd bildas, bör en vakuumpump användas.
Även om bådaVakuumpump och kompressorär enheter som används för att bearbeta gas, det finns stora skillnader i design och arbetsprincip. Även om vakuumpumpen kan minska gasens tryck och densitet, kan den inte ersätta kompressorn, särskilt när gasen måste komprimeras till en mindre volym och högre tryck.
